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準分子激光剝蝕的激光束能量分布均勻化，剝蝕均勻

更新時間：2022-12-08  |  點擊率：501
　　準分子激光剝蝕系統(tǒng)采用精細化控制單元，高能量的“平頂(homogenized-flat)”激光和飛速響應(yīng)的“邊對邊(shot-to-shot)”技術(shù)帶來高分辨率空間分析能力。創(chuàng)新的“動態(tài)剝蝕功能(fire-on-the-fly)”采用高分辨率XY移動平臺技術(shù)，同時移動平臺能夠?qū)崟r觸發(fā)激光的發(fā)射，*應(yīng)用于線掃描的深度剝蝕和元素分布圖的分析。另外，高分辨率GigE真彩顯微攝像觀察技術(shù)，觀察單元光學(xué)分辨率小于2μm，提供透射、反射和環(huán)形可調(diào)亮度的照明和十字交叉偏振系統(tǒng)，能夠?qū)崟r顯示實時縮放的動態(tài)寬視野場，實現(xiàn)快速樣品定位導(dǎo)航。結(jié)合足夠高的剝蝕能量(50J/cm2)，AnalyteHE能夠輕松剝蝕各類樣品甚至是具有挑戰(zhàn)性的物質(zhì)，包括高純石英、彈性碳酸鹽等樣品，同時光束能量均勻化分布，以確保在整個光斑尺寸范圍內(nèi)和各種材料上均勻剝蝕。
　　

 

　　準分子激光剝蝕系統(tǒng)主要性能參數(shù)：
　　
　　1.超短193nm激光波長
　　
　　2.脈沖寬度＜20ns
　　
　　3.足夠剝蝕石英及螢石的能量密度，高達50J/cm2
　　
　　4.密閉氣室
　　
　　5.激光束能量分布均勻化，剝蝕均勻
　　
　　6.標配100x100mm移動平臺，可選150x150mm平臺
　　
　　7.同步“動態(tài)剝蝕功能”實現(xiàn)精確的剝蝕深度控制
　　
　　8.獨立的視頻和激光光學(xué)控制單元，能夠更好的查看樣品剝蝕點
　　
　　9.剝蝕光斑范圍1-170μm
　　
　　10.標配30個剝蝕光斑，光斑可定制
　　
　　11.標配HelExII雙體積雙氣路渦流樣品池
　　
　　準分子激光剝蝕Geostar軟件，可實現(xiàn)與ICP連接測試，準分子激光最小束斑可達及微米，剝蝕坑底部平坦，形狀規(guī)則，可利用激光共聚焦或原子力顯微鏡測量剝蝕坑體積。